개념 한 줄 요약
계측 장비는 공정 결과를 수치화해 공정 제어에 활용합니다.
왜 중요한가
미세 공정에서는 작은 편차가 큰 불량으로 이어집니다. 설비 문제 분석과 공정 안정화 대응이 장비 운영의 핵심 역할로 제시됩니다.
핵심 개념 3가지
- CD-SEM은 선폭을 측정한다
- OVL 측정은 정렬 정확도를 평가한다
- 결함 검사는 수율 관리의 핵심이다
간단 예시 또는 비유
현미경으로 미세 결함을 검사하는 과정과 비슷합니다.
실무에서 연결되는 지점
- 공정·설비 문제 분석과 공정 안정화가 장비 운영의 핵심입니다.
- 설비팀과 협업해 공정 조건을 개선하고 재현성을 확보합니다.
- 검사·계측 설비의 국산화 및 공동 대응이 실무 과제로 등장합니다.
- 설비 동작 순서 제어와 유지보수 체계가 품질에 영향을 줍니다.
확장 학습
- Inline vs Offline 계측 차이
- 메트롤로지 데이터 활용 방법