개념 한 줄 요약
식각은 전공정에서 노광된 패턴을 재료에 새기는 단계입니다.
왜 중요한가
전공정의 반복 공정(노광, 식각, 증착, 세정, 연마) 중 정확도가 중요합니다. 전공정의 노광·식각·증착·세정·연마 흐름에서 공정 조건 제어가 핵심으로 강조됩니다.
핵심 개념 3가지
- 건식 식각은 방향성 제어가 뛰어나다
- 습식 식각은 균일하지만 언더컷이 발생할 수 있다
- 선택비와 균일도가 품질 지표다
간단 예시 또는 비유
정밀 칼로 도안을 잘라내는 작업과 유사합니다.
실무에서 연결되는 지점
- 전공정은 노광, 식각, 증착, 세정, 연마를 반복하며 패턴을 웨이퍼에 형성합니다.
- 공정/설비 문제를 분석하고 자동화 시스템을 개선하는 역할이 중요합니다.
- 공정 안정화와 평가 대응을 위해 데이터 기반 검증이 필요합니다.
- 8대 공정 역량과 문제 해결, 커뮤니케이션 역량이 핵심으로 강조됩니다.
실무 심화 포인트
- 공정 조건 변화가 수율에 미치는 영향 경로를 정리한다.
- 장비/설비와 공정 레시피 간 상관관계를 파악한다.
확장 학습
- 식각 장비(플라즈마) 구성 요소 이해
- 식각 후 세정 공정 연결