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소자

STI

Shallow Trench Isolation, 소자 간 절연을 위한 구조입니다.

절연STI트렌치

정의

STI는 얕은 트렌치를 절연막으로 채워 소자 간 간섭을 줄입니다.

왜 중요한가

소자 간 누설 전류를 줄이고 집적도를 높입니다.

관련 용어

  • 절연
  • 공정
  • 트렌치