RIE

정의

RIE는 플라즈마와 이온을 이용해 방향성 있게 식각하는 공정입니다.

왜 중요한가

미세 패턴의 직각 프로파일을 구현할 수 있습니다.

관련 용어

• DRIE
• 식각
• 플라즈마