포토레지스트

정의

포토레지스트는 빛을 받으면 화학 구조가 변하는 감광성 물질로, 노광과 현상을 통해 패턴을 만듭니다.

왜 중요한가

패턴 해상도와 선폭 균일도에 직접 영향을 주어 공정 품질을 좌우합니다.

관련 용어

• 포토마스크
• 노광
• 현상