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공정

포토마스크

회로 패턴이 새겨진 마스크로, 노광 공정에서 패턴을 전사합니다.

마스크노광패턴

정의

포토마스크는 회로 패턴이 형성된 유리판으로, 노광 시 빛을 선택적으로 통과시킵니다.

왜 중요한가

마스크 품질이 곧 패턴 품질로 이어지기 때문에 결함 관리가 중요합니다.

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