정의 Overlay는 이전 층 패턴과 다음 층 패턴의 정렬 오차를 수치화한 지표입니다. 왜 중요한가 미세 공정일수록 작은 오차도 회로 불량으로 이어집니다. 관련 용어 노광 스캐너 정렬