W
Waference
반도체 지식 레퍼런스
홈
지식베이스
용어사전
토픽
소개/기여
← 용어사전으로 돌아가기
공정
NA (Numerical Aperture)
노광 렌즈의 집광 능력을 나타내는 지표입니다.
광학
노광
해상도
정의
NA는 렌즈가 빛을 모을 수 있는 능력을 나타내는 값입니다.
왜 중요한가
해상도는 파장과 NA에 크게 좌우됩니다.
관련 용어
노광
EUV
해상도