메트롤로지

정의

메트롤로지는 공정 결과를 측정해 품질을 평가하는 활동입니다.

왜 중요한가

미세 공정에서는 작은 편차도 큰 결함으로 이어집니다.

관련 용어

• CD-SEM
• 검사
• 수율