리소그래피 | Waference

← 용어사전으로 돌아가기

정의

리소그래피는 마스크와 빛을 이용해 패턴을 형성하는 공정입니다.

왜 중요한가

패턴 해상도와 정렬이 소자 성능에 영향을 줍니다.

관련 용어

노광
포토레지스트
Overlay