정의 LER은 패턴 가장자리가 얼마나 균일한지를 나타내는 지표입니다. 왜 중요한가 LER이 커지면 소자 특성이 불안정해져 수율 저하로 이어질 수 있습니다. 관련 용어 노광 현상 CD-SEM