W
Waference 반도체 지식 레퍼런스
← 용어사전으로 돌아가기

공정

DRIE

고종횡비 구조를 만드는 심층 식각 공정입니다.

식각DRIE심층

정의

DRIE는 깊고 수직에 가까운 구조를 형성하는 식각 공정입니다.

왜 중요한가

MEMS나 TSV 같은 구조에 필요합니다.

관련 용어

  • RIE
  • TSV
  • 식각