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Waference 반도체 지식 레퍼런스
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제조

Defect Density

단위 면적당 결함 수를 의미합니다.

결함분석수율

정의

Defect Density는 웨이퍼 면적당 결함 수를 나타냅니다.

왜 중요한가

결함 밀도는 수율 예측과 개선에 활용됩니다.

관련 용어

  • Yield
  • 검사
  • 결함 맵