공정
화학 기상 증착 방식으로 박막을 형성하는 공정입니다.
CVD는 기체 전구체가 화학 반응을 통해 박막을 형성하는 방식입니다.
막 균일도와 결함 관리에 유리해 다양한 층에 사용됩니다.