CMP

정의

CMP는 화학 반응과 연마 패드를 이용해 표면을 평탄화합니다.

왜 중요한가

층간 높이 차이를 줄여 노광 정밀도를 확보합니다.

관련 용어

• 슬러리
• 패드
• 엔드포인트