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Waference 반도체 지식 레퍼런스
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장비

CD-SEM

선폭 측정을 위한 주사전자현미경입니다.

CD-SEM계측선폭

정의

CD-SEM은 Critical Dimension을 측정하는 전자현미경입니다.

왜 중요한가

선폭 편차를 정밀하게 관리하기 위해 필요합니다.

관련 용어

  • 메트롤로지
  • 선폭
  • 검사