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공정
BEOL
금속 배선과 절연층 형성이 중심인 후공정 단계입니다.
후공정
배선
공정
정의
BEOL은 트랜지스터 위에 금속 배선층을 형성하는 공정 단계입니다.
왜 중요한가
배선 저항과 신뢰성이 회로 성능을 좌우합니다.
관련 용어
FEOL
배선
Low-k