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공정

BEOL

금속 배선과 절연층 형성이 중심인 후공정 단계입니다.

후공정배선공정

정의

BEOL은 트랜지스터 위에 금속 배선층을 형성하는 공정 단계입니다.

왜 중요한가

배선 저항과 신뢰성이 회로 성능을 좌우합니다.

관련 용어

  • FEOL
  • 배선
  • Low-k