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공정
어닐링
열처리로 결정 손상을 복구하는 공정입니다.
열처리
결정
복구
정의
어닐링은 열처리를 통해 결정 손상을 회복하고 활성화를 촉진합니다.
왜 중요한가
전기적 특성 회복에 필수적입니다.
관련 용어
이온주입
확산
RTA