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Waference 반도체 지식 레퍼런스
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공정

ALD

원자층 단위로 박막을 성장시키는 증착 방식입니다.

증착ALD박막

정의

ALD는 순차적 화학 반응으로 원자층을 쌓는 증착 공정입니다.

왜 중요한가

초박막 균일도가 필요할 때 사용됩니다.

관련 용어

  • CVD
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  • 게이트